●流量(SLM):20●ガス:N2●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)●再現性:±0.2%FS●流量制御範囲:5~100%FS●流体:気体●使用可能温度:5~50℃ 85%RH以下●応答性:6sec●動作圧力範囲:50~300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理:機械加工仕上げ●継手:1/4in.SWL相当●入出力:アナログ信号(0~5VDC)●バルブ形式:N/O ノーマルオープン●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:160×33.6×105mm ●商品品番 aso 3-6947-02 ●JAN 4589645251009 ●メーカー型番 C1020-4S2-20L-N2
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